净化工程注意事项需记牢：

　　7.无菌室运用前有必要翻开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上，而且一起翻开超净台进行吹风。操作结束，洁净室工程，应及时整理无菌室，再用紫外灯辐照灭菌20分钟。

　　8.供试品在查看前，应坚持外包装完好，不得敞开，以防污染。查看前，用70%的酒精棉球消毒外外表。

　　9.凡带有活菌的物品，须经消毒后，洁净室施工，才能在水下冲刷，禁止污染下水道。

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，洁净室净化工程，这与集成电路工艺不断更新，洁净室，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。

无尘车间净化技术的设备发展

　　美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。

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