目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，无尘室，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，无尘室设计，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，无尘室设备，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.

无尘室工程 使用吸尘器的正确方法是：

1.吸尘器要按地毯面的顺毛方向移动汲取尘土，以坚持毯毛平坦原样；

2.吸尘器不行汲取液体或湿润的东西和金属屑，避免下降吸尘器吸引力；

3.在运用吸尘器吸尘的时分要带上口罩，因为运用吸尘器简单致使尘土扬起，用户比拟简单吸入扬起的尘土。运用时禁止将手或脚放在吸口下，避免发作风险。

4.运用吸尘器时有必要远离水泵、辐射源及炉灶。还应该合作运用场所恰当调整吸力，如毛毯用“强”，地板用“中”，窗布用“弱”等不一样档位。遇到不一样的旮旯选用恰当吸嘴，分別汲取地毯上飞尘。

5.因为吸尘器功率大、转速高，接连运用时间以不超越1小时为宜，不然比拟简单损耗运用寿命。若是需求整理较多当地，距离半小运用，以防主机温度过高。

6.若是在运用过程中听到声响反常，吸尘作用变差，尘量指示器中的指示点抵达戒备（赤色1）区域，应注意查看吸尘器的吸尘袋是不是已满或过滤网是不是过脏，定时替换尘袋和滤网，才干坚持吸尘器的高1效能。

无尘室工程洁净度气流分布

无尘室工程按等级划分洁净室被分为10到10万级，然而针对于洁净室级别来说，和其他的数字理解方式是不一样的。其他的数字越大，级别越高；洁净室行业是数字越小级别越高。洁净室是由：空调暖通系统、内部装修系统、配电系统所组成。洁净室是由初效（G）——中效（F）——高1效（H）三级过滤后输入气流于洁净室内，然后由回风口到管道内，然后进行净化这样一直循环的原理。

无尘室工程要想达到稳定性，室内的气流必须保持一致，若如气流无法保持一致，在风速有异的情况下，洁净室内就会产生乱流，无法控制洁净室的稳定性。这样就会对无尘室施工内净化级别有影响。导致洁净室内气流不一致的原因可能是：

1、人在洁净室内的活动；

2、FFU或高1效出风口出风速度不一致。

在洁净室内配套设施尽量用不锈钢材质的，不锈钢材质不易起尘、具有强耐腐蚀性。

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