目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，洁净室设备，具有吸附速度快的特点，洁净室报价，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.

无尘室能耗大的原因

1、无尘室工程净化的送风量大，不同净化级别的无尘室送风量和相同面积的舒适空调送风量的相比是其1.5-55倍，而且送风风压也是其2-3倍，因此送风机的温升耗冷量很大。

2、无尘室空调净化系统的新风量大，洁净室工程，一般情况下，新风量等于排风量与正在坟漏风量之和，因此生产工艺排风量大故新风量就很大，因此，新风的热湿处理耗能也就很大。

3、无尘室中的工艺设备和工艺过程发热量大，而且连续两份班制或三班制运行，因此，耗能量也大。

4、无尘室内生产工艺的温、湿度及其精度要求很高、很严，洁净室，也是能耗大的原因。

一个完整的无尘车间少不了净化设备，那么无尘车间通常用到哪些净化设备呢？

一）净化无尘车间工程进风系统要安装：新风过滤箱，中央净化空调（中央净化空调要分为初效/中效/高1效三个过滤段）末端有高1效送风口。有必要时还装有净化增压箱；

二）无尘车间回风系统要安装：回风口，过滤初效器，中效回风箱；

三）进入无尘车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜空气清新机；

四）人和货物进入无尘净化车间须经过风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；

五）在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩，洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测无尘室洁净度用，激光尘埃粒子计数器；

六）无尘厂房要设计观察窗方便参观。

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