净化技术的设备发展

　　净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质，洁净室报价，有效地控制微量杂质，以保证高科技产品的成品率和可靠性。洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。

    

千级无尘车间管理规范 ▼标签： 千级无尘车间 环保工程 净化工程 空气净化 

1. 净化工程1.目的为无尘室清洁建立规范从而保证产品的质量。

2 范围 适用于千级无尘室生产车间及进出人员、物料。

3 定义     无

4 职责 生产部：负责无尘室清洁的执行。 品质部：负责对无尘室的洁净度进行检验。 5 内容与要求

5.1 风淋室清洁：

5.1.1 每天上午和下午下班时对风淋室进行清洁，洁净室，擦拭灰尘和换除尘垫。

5.1.2 进入车间时风淋时间为20秒。

5.2 无尘室清洁：

5.2.1 每天上午和下午下进时进行清洁，用吸尘器进行吸尘。

5.2.2 每三天进行一次大清洁，用湿海棉擦地面。

5.2.3 每天上午和下午上班后30分钟内生产主管进行温湿度检验并记录。

5.2.4 温度要求25±3℃；湿度要求≤65%。如达不到则进行空调调节直到合格才能生产。

5.3 洁净度检验:

5.3.1 品质部每天上午9:00前，洁净室设计，下午14:00前用尘埃粒子测试仪进行检验并记录结果.

5.3.2如检验达不到千级要求则生产部停止生产进行清洁，直到检验OK方可生产.

5.4 人员进出:

5.4.1 人员进入前按《千级无尘室着装规范》着装.

5.4.2 所有人员从风淋室进，出口出，不得违规进出.

5.4.3 紧急出口只能在发生紧急情况下或运送机器时才能使用.

5.5 物料进出:

5.5.1 所有材料必须从风淋窗口进入.

5.5.2 任何容易带有或产生灰尘、纸屑的物料不得进入和使用。

6 记录及相关文件

6.1《温湿度记录表》

6.2《尘埃粒子检验记录表》

6.3《千级无尘室着装规定》

　　净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　A.弹性扩充容易;

　　B.维修设备时可在维修区轻易执行。

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