目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，无尘室，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.

2016无尘室工程应用管理方案

一）首先进入无尘室的管理，包括对无尘室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入无尘室。

二）洲上操作管理技术，无尘室工程，对无尘室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止无尘室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

三）洲上无尘室厂家严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具（工装夹具）等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

四）重视清扫、灭菌管理，无尘室设计，对无尘室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除无尘室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。

五）无尘室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

一个完整的无尘车间少不了净化设备，那么无尘车间通常用到哪些净化设备呢？

一）净化无尘车间工程进风系统要安装：新风过滤箱，中央净化空调（中央净化空调要分为初效/中效/高1效三个过滤段）末端有高1效送风口。有必要时还装有净化增压箱；

二）无尘车间回风系统要安装：回风口，过滤初效器，中效回风箱；

三）进入无尘车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜空气清新机；

四）人和货物进入无尘净化车间须经过风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；

五）在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，无尘室工程改造，层流罩，洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测无尘室洁净度用，激光尘埃粒子计数器；

六）无尘厂房要设计观察窗方便参观。

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