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昆山清阳净化系统工程 洁净室净化工程 洁净室
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发布时间: 2022-12-23 18:46
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百级净化车间公司空气净化设计需要注意的问题:

  洁净工程空气净化设计需要注意什么问题?净化工程是一个整体,每一个环节都要细致检查,只有做好每一个细节,才能让整个系统完善,洁净室净化工程,发挥的价值。如何做好这些,洁净室,以下八大要点需要我们注意。

  1.净化系统

  室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。

  2.洁净工程的洁净度与换气次数

  房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。

  3.净化工程结构

  为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。


净化技术的设备发展

  美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0,1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵,0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例,这与集成电路工艺不断更新,产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应,严重制约了大规模集成电路技术的发展。



无尘车间检漏试验工作程序

5.3.1. 检漏准备准备好检漏所需器材与待检区域的净化空调系统送风管道道平面布置图,并通知净化空调设备公司于检漏当日到场进行打胶及更换高xiao过滤器等操作。

5.3.2.无尘车间检漏操作

① 检查气溶胶发生器中DOP溶剂的液位是否高于低液位,万级洁净室,不足则应添加。

② 连接氮气瓶与气溶胶发生器,开启气溶胶发生器的温度开关,至红灯转换为绿灯,即表示到温(约390~420℃)。

③ 将测试软管的一端呗在气溶胶光度计的上游浓度测试口,另一端置于被检测高xiao过滤器的进风侧(上游侧) [系统检漏可直接把DOP烟雾放入空调器内(注意不要被空调器内的过滤器吸附了);若DOP发生器较小,达不到规定的浓度,洁净室设计,可放在被测高xiao过滤器的静压箱内,层流工作台可直接放入风机吸入口],打开光度计开关,将测试值调节至“100”。


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